用于蚀刻组合物的添加剂、其制备方法和包含其的蚀刻组合物
授权
摘要
本发明提供了一种具有高选择比的蚀刻组合物及其制备方法，所述蚀刻组合物能够选择性地去除氮化物膜并使氧化物膜的蚀刻速率最小化。本发明还提供了一种通过使磷酸酐与下式1表示的硅烷化合物反应而制备的蚀刻组合物添加剂，所述蚀刻组合物添加剂的制备方法和包含所述蚀刻组合物添加剂的蚀刻组合物：[式1]
基本信息
专利标题 ：
用于蚀刻组合物的添加剂、其制备方法和包含其的蚀刻组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111100640A
申请号 ：
CN201911017313.7
公开（公告）日 ：
2020-05-05
申请日 ：
2019-10-24
授权号 ：
CN111100640B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
金喆禹沈由那李帝豪郭宰熏金荣汎赵珍耿
申请人 ：
SK新技术株式会社;爱思开新材料有限公司
申请人地址 ：
韩国首尔
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗达
优先权 ：
CN201911017313.7
主分类号 ：
C09K13/00
IPC分类号 ：
C09K13/00 C09K13/06 C07F9/53 C07F9/50 C07F7/18
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2022-04-22 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : C09K 13/00
登记生效日 : 20220408
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : SK新技术株式会社
变更后权利人 : SK新技术株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国首尔
变更后权利人 : 韩国首尔市钟路区钟路26号
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 爱思开新材料有限公司
变更后权利人 : SK株式会社
登记生效日 : 20220408
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : SK新技术株式会社
变更后权利人 : SK新技术株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国首尔
变更后权利人 : 韩国首尔市钟路区钟路26号
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 爱思开新材料有限公司
变更后权利人 : SK株式会社
2021-09-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 13/00
申请日 : 20191024
申请日 : 20191024
2020-05-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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