双氧水稳定剂及包含其的蚀刻组合物
授权
摘要
本发明提供双氧水稳定剂及包含其的蚀刻组合物，本发明的蚀刻组合物通过包含本发明的双氧水稳定剂，来当进行蚀刻工序时，防止过氧化氢的分解，并控制金属界面的过蚀刻，从而具有优秀的蚀刻特性。
基本信息
专利标题 ：
双氧水稳定剂及包含其的蚀刻组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107475715A
申请号 ：
CN201710425495.6
公开（公告）日 ：
2017-12-15
申请日 ：
2017-06-08
授权号 ：
CN107475715B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
李明翰李宝研安镐源朴钟模金世训
申请人 ：
易案爱富科技有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN201710425495.6
主分类号 ：
C23F1/18
IPC分类号 ：
C23F1/18 C23F1/26 C23F1/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/18
蚀刻铜或铜合金用的
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2019-06-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/18
申请日 : 20170608
申请日 : 20170608
2017-12-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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