本实用新型公开了一种硫酸双氧水蚀刻液双氧水分解装置，具体涉及废水处理技术领域，分解装置包括废液桶、加热搅拌器、冷热交换机、冷却器及电解槽，所述废液桶与加热搅拌器相连接，所述加热搅拌器和冷却器相连接，所述冷却器与电解槽相连接，所述冷热交换机分别与加热搅拌器和冷却器相连接。本实用新型的分解装置结构简单，设备加工制作成本低，设备操作容易，不需额外增加人工成本、耗能及运行成本低，且分解方法工艺简单，废液处理效率快，运行成本低，其不仅产生回收高价值的金属电解铜，同时产生硫酸废水，可完全再利用，符合国家提倡节能减排，再生利用的政策。