本发明属于光谱成像技术领域，具体涉及一种单芯片集成型光谱成像微系统光谱数据校正方法。所述校正方法包括：步骤1：完成底层校正算法的设计；步骤2：根据底层校正算法计算校正矩阵；步骤3：将校正矩阵作用于光谱成像微系统输出光谱数据，得到校正后结果。本发明相对于现有迭代校正的技术方法，从硬件结构特性出发，提高了光谱成像微系统的光谱数据准确度。同时，减小校正矩阵对参考目标光谱数据的依赖性，对于不同的实际场景下应用均适用。底层校正算法的引入，初步解决了光谱成像微系统硬件结构及固有特性带来的影响光谱准确因素对光谱数据的影响问题，提高了光谱成像微系统光谱数据准确度。