本发明实施例公开了一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统。其中测量装置包括光源模块，用于产生第一光束和第二光束；衍射引导单元，用于引导第一光束和/或第二光束经由一维光栅衍射后的衍射光回射至一维光栅，和/或引导第一光束和/或第二光束衍射后的反射光回射至一维光栅，并输出光束；探测模块，用于接收输出光束；信号处理模块，用于计算一维光栅沿第二方向的位移和沿第三方向的位移；或者计算一维光栅沿第一方向的位移和第三方向的位移。本发明实施例的技术方案，可以实现利用一维光栅进行两个自由度的高精度、高稳定性位移测量，且可以匹配一维光栅的栅线方向切换的场景下的连续测量，具有结构简单、成本低等优点。