基于铜表面的导热防腐蚀的复合膜层及制备方法
授权
摘要
本发明属于表面改性技术领域,特别指基于铜表面的导热防腐蚀的复合膜层及制备方法。复合膜层包括钛或铬金属层;类金刚石层,层叠于钛或铬金属层的表面。复合膜的制备方法是在铜或者铜制品表面利用高纯铬靶或钛靶进行磁控溅射,沉积钛或铬金属层;原位真空时效处理;在钛或铬金属层上通过等离子体增强化学气相沉积法,沉积类金刚石层。现有技术将对于铜表面的镀层技术中缺少既能防腐蚀又能保持铜的良好导热性的镀膜技术。本发明提出了一种将导热金属膜层与类金刚石膜构成的复合膜层用于散热器铜管或铜制品表面导热和防腐蚀膜层的新技术,复合膜具备结合力好、导热性能优的特点。
基本信息
专利标题 :
基于铜表面的导热防腐蚀的复合膜层及制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111020573A
申请号 :
CN201911232796.2
公开(公告)日 :
2020-04-17
申请日 :
2019-12-05
授权号 :
CN111020573B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
宋贵宏胡方王丽梅
申请人 :
沈阳工业大学
申请人地址 :
辽宁省沈阳市铁西区经济技术开发区沈辽西路111号
代理机构 :
沈阳智龙专利事务所(普通合伙)
代理人 :
宋铁军
优先权 :
CN201911232796.2
主分类号 :
C23C28/00
IPC分类号 :
C23C28/00 C23C14/16 C23C14/35 C23C16/26 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C28/00
用不包含在C23C2/00至C23C26/00各大组中单一组的方法,或用包含在C23C小类的方法与C25D小类中方法的组合以获得至少二层叠加层的镀覆
法律状态
2022-04-01 :
授权
2020-05-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 28/00
申请日 : 20191205
申请日 : 20191205
2020-04-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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