一种扫描电镜样品载台装置
授权
摘要
本实用新型属于分析试验设备技术领域,涉及一种扫描电镜样品载台装置,包括样品台、与样品台滑动配合的基座以及与样品台可拆卸连接的螺杆,所述样品台上部设有样品卡槽,样品台下部设有滑块,所述基座设置在样品台的下方,且基座上设有与滑块相匹配的滑槽,所述样品台的一侧设有螺杆连接槽,所述连接槽包括插入槽和旋转槽,所述旋转槽设置在样品台内部,并通过插入槽与外部连通,所述螺杆一端设有与插入槽和旋转槽相匹配的插入块,所述插入块与螺杆之间通过连接轴连接。本实用新型设计合理,结构简单,操作方便,可重复使用,既能提高测试过程样品稳定性,又能从经济上节约成本,具有很大的市场价值,值得广泛推广应用。
基本信息
专利标题 :
一种扫描电镜样品载台装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920429500.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-01
授权号 :
CN209927754U
授权日 :
2020-01-10
发明人 :
刘五奎季佳敏
申请人 :
苏州同冠微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港经济技术开发区新丰东路3号
代理机构 :
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王清
优先权 :
CN201920429500.5
主分类号 :
G01N23/2251
IPC分类号 :
G01N23/2251 G01N23/2204
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束,例如扫描电子显微镜
法律状态
2020-01-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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