本实用新型公开了一种表面检查清洁装置及系统，其中，该表面检查清洁装置，包括机壳及紫外光源，机壳具有一适于收容被清洁器具的清洁腔，清洁腔具有进风口及抽风口；抽风口用于与抽风设备连接，以通过抽风设备对清洁腔进行抽风；紫外光源设在机壳上，用以向清洁腔内提供预定波长的紫外光线并照射至被清洁器具。根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁装置及系统，紫外光源照射在清洁腔内的被清洁器具上，一方面，可以激发被清洁器具上残余的有机材料发光，发光的有机材料容易被观察到，进而方便检查被清洁器具是否被清洁干净，另一方面，利用有机材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清洁器具表面上的有机材料，达到更高的洁净度。