基板烘烤设备
授权
摘要
本实用新型揭露一种基板烘烤设备,包含:框架结构、机台本体、至少一加热装置、移载装置及风机。机台本体设置于框架结构,机台本体内具有烘烤通道,烘烤通道的两端为基板入口及基板出口,且机台本体的底部具有容置孔。加热装置能被控制以提升烘烤通道的温度。风机包含有限位结构、风扇、导风罩、控制机组及马达。风机能通过限位结构固定设置于机台本体的底部,而马达则能对应穿出于容置孔。机台本体的一侧具有维修门。使用者可以通过开启维修门,而于烘烤通道中对风机进行安装、拆卸及维修,如此,将可大幅降低基板烘烤设备整体的高度。
基本信息
专利标题 :
基板烘烤设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920512054.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-16
授权号 :
CN210386452U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
陈安顺
申请人 :
群翊工业股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾桃园市
代理机构 :
北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
武玉琴
优先权 :
CN201920512054.4
主分类号 :
B05D3/04
IPC分类号 :
B05D3/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理;已有涂层的后处理,例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/04
暴露在气体中
法律状态
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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