基板烘烤设备

授权

摘要

本实用新型涉及一种基板烘烤设备，包含：箱体，具有烘烤通道；烘烤装置，烘烤装置自箱体外对于烘烤通道进气并进行加热；以及载送装置，包括多数个链轮、链条以及吊架，吊架用以夹持基板，链条抵于多数个链轮并且随着链轮的旋转而移动吊架，其中，至少一个链轮具有多数个轴承，多数个轴承为环状排列，链条抵于可旋转的多数个轴承，多数个轴承个别的旋转轴线为平行于链轮的旋转轴线。因轴承会对应于受力方向旋转而减少与链条之间的摩擦，所以能减少粉尘的产生。

基本信息

专利标题：

基板烘烤设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022294671.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-15

授权号：

CN212876216U

授权日：

2021-04-02

发明人：

陈安顺

申请人：

群翊工业股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园市杨梅区和平路188号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN202022294671.7

主分类号：

H05K3/22

IPC分类号：

H05K3/22