氮气密闭烘烤机台及基板进出烘烤装置的方法

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摘要

一种氮气密闭烘烤机台，包含框架、烘烤装置及进料装置。框架包括第一端及第二端。烘烤装置设于框架并包括两个转换箱、连接转换箱的烤炉及两个分别设于转换箱的升降机构，每一转换箱具有连接壳体、充气壳体、设于连接壳体及充气壳体之间的内凸缘。连接壳体及内凸缘界定出连通室，充气壳体及内凸缘界定出转换室，升降机构包括升降台，升降台具有顶壁、底壁及分别连接顶壁及底壁的支撑柱，升降台在下降位置时，顶壁抵靠内凸缘上表面，转换室及连通室被顶壁间隔开，在上升位置时，底壁抵靠内凸缘下表面，转换室及连通室被顶壁间隔开。进料装置设于框架的第一端以将载具连同基板输送至烘烤装置的其中一转换箱内。本发明还包括基板进出烘烤装置的方法。

基本信息

专利标题：

氮气密闭烘烤机台及基板进出烘烤装置的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113473736A

申请号：

CN202010417046.9

公开（公告）日：

2021-10-01

申请日：

2020-05-18

授权号：

CN113473736B

授权日：

2022-05-03

发明人：

陈安顺

申请人：

群翊工业股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园市

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司

代理人：

史瞳

优先权：

CN202010417046.9

主分类号：

H05K3/22

IPC分类号：

H05K3/22