一种基板烘烤装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种基板烘烤装置,涉及显示面制程工艺技术领域,本申请主要在加热台的基础上设置了固定机构,其中,固定机构用于在加热面承载所述基板上时,限制住所述基板至少一角部与所述加热台在垂直于所述加热面上的相对位移。在加热过程当中,即便基板因两侧表面出现受热情况不一而使得其角部出现翘起的趋势时,在固定机构的作用下,角部也能够相对加热台在垂直于加热面的方向上保持固定,进而了避免出现角部出现翘起、受热不良的问题,改善了基板的烘烤效果。

基本信息
专利标题 :
一种基板烘烤装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114536996A
申请号 :
CN202210134301.8
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁熙王世洪
申请人 :
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
代理机构 :
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 :
李晨幼
优先权 :
CN202210134301.8
主分类号 :
B41J11/00
IPC分类号 :
B41J11/00  H01L51/56  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B41
印刷;排版机;打字机;模印机
B41J
打字机;选择性印刷机构,即不用印刷的印刷机构;排版错误的修正标记的记录载体入G06K;免费证或票券印刷及发行设备入G07B;电键式开关一般入H01H13/70,H03K17/94;与键盘或类似装置相关的编码一般入H03M11/00;传递数字信息的接收或发送机入H04L;文件或
B41J11/00
用于支撑或传送单张纸或卷筒纸之类的复制材料的装置或设备
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B41J 11/00
申请日 : 20220214
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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