基板烘烤设备
授权
摘要
一种基板烘烤设备，包含机台本体、多个上冲孔板、过滤装置、移载装置及进气加热系统。机台本体界定出烘烤空间、过滤空间及上维修口，并具有两个分别位于烘烤空间两侧的上侧架。每个上侧架的第一承载壁具有第一安装部及位于第一安装部相对内侧的第一承载部。上冲孔板可分离地设置于两个第一承载壁的第一承载部。过滤装置设置于过滤空间，并包括两个分别设置于第一承载壁的第一安装部的支架，及连接于支架且间隔位于上冲孔板上方的过滤器本体。上冲孔板可在不移除过滤装置或移载装置的情况下经由上维修口取出或放入。
基本信息
专利标题 ：
基板烘烤设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921519085.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-12
授权号 ：
CN210519072U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
陈安顺
申请人 ：
群翊工业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园市
代理机构 ：
北京泰吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
史瞳
优先权 ：
CN201921519085.9
主分类号 ：
H05K3/00
IPC分类号 ：
H05K3/00 H05K3/22
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法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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