一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备。其包括扩散炉、源气罐、真空泵和尾气处理装置，源气罐与扩散炉连通的输气管通过支管连通有湿氧装置，湿氧装置包括设有进水口、进氧口和湿氧出口的壳体以及安装于壳体内的加热组件和搅拌组件；加热组件包括若干可伸缩的加热柱，加热柱将壳体内部空间分为中心区和分支区；搅拌组件包括驱动电机、中心搅拌柱和若干分支搅拌柱，中心搅拌柱固定连接于驱动电机的输出轴并安装于中心区，分支搅拌柱通过行星轮传动结构与驱动电机的输出轴连接并安装于分支区。该设备能够实现对硅片的湿氧扩散，且具有扩散均匀、扩散效率高的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920528805.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-18
授权号 ：
CN209957925U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
朱志明李小飞李佳文杨尔刚何一峰牛嘉军
申请人 ：
浙江贝盛光伏股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号
代理机构 ：
浙江千克知识产权代理有限公司
代理人 ：
裴金华
优先权 ：
CN201920528805.1
主分类号 ：
C30B31/10
IPC分类号 ：
C30B31/10 C30B31/12 C30B31/16 C30B29/06 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/10
反应室；其所用材料的选择
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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