一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备，其技术方案是：包括氧气筒，所述氧气筒一端固定连接有第一分叉管，所述第一分叉管一端固定连接有湿氧筒，所述第一分叉管另一端固定连接有扩散筒，所述氧气筒一端设有气体处理筒，所述气体处理筒一端固定连接有第二分叉管，所述第二分叉管一端与湿氧筒固定连接，所述第二分叉管另一端与扩散筒固定连接，所述湿氧筒底部轴心处固定连接有固定块，所述固定块顶部固定连接有第一固定管，一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备有益效果是：有效的解决湿氧过程中容易出现湿氧不完全，氧气分布不均匀的问题，同时硅片单面的气体接触使得扩散的效率变低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022113670.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
CN213739782U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
王守才戚中伟朱广鹏李驰
申请人 ：
江苏中宇光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022113670.8
主分类号 ：
C30B31/04
IPC分类号 ：
C30B31/04 C30B29/06 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/04
同液态扩散材料接触的
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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