晶圆横移顶升机构

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种晶圆横移顶升机构，包括底板、伺服电机、滚珠丝杆副、导台顶升气缸、两条线性滑轨、两组轴承座和承接盘；两组轴承座固定于底板上，滚珠丝杆副的丝杆两端分别插入两组轴承座的轴承内孔中，伺服电机作为带动滚珠丝杆副工作的动力源；两条线性滑轨固定于底板上，并对称设于滚珠丝杆副的两侧；滚珠丝杆副的滚珠轴套顶部设置有基座，基座与线性滑轨上的滑块固连；导台顶升气缸固定于基座顶部，承接盘固定于导台顶升气缸的顶部载台上。本实用新型采用伺服电机搭配精密滚珠丝杆副和线性滑轨，提高了晶圆平移的稳定性，并有效降低了噪音。

基本信息

专利标题：

晶圆横移顶升机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920561301.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-23

授权号：

CN209561363U

授权日：

2019-10-29

发明人：

王静强徐福兴黄锡钦

申请人：

昆山基侑电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920561301.X

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/67