检测装置和硅片分选设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种检测装置和硅片分选设备，检测装置包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构，第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面，第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面，每组检测机构均包括检测相机、反射机构和激光发射器，反射机构对激光发射器发射的激光进行至少一次反射，以使激光经过待测物体的被检测边缘反射后被对应的检测相机探测到，第一边缘和第二边缘为待测物体上相对的且与输送机构的输送方向垂直的两条边缘。本实用新型的硅片分选设备包括上述的检测装置。本实用新型中，检测待测物体的效率得以有效提高，设备制造成本低，结构简化，检测成本降低，检测过程连续性更好。

基本信息

专利标题：

检测装置和硅片分选设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920561791.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-23

授权号：

CN209918365U

授权日：

2020-01-10

发明人：

李文李昶彭海军徐飞

申请人：

无锡奥特维科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市无锡新区珠江路25号

代理机构：

北京路胜元知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

路兆强

优先权：

CN201920561791.3

主分类号：

B07C5/34

IPC分类号：

B07C5/34 B07C5/02