一种检测装置和硅片分选设备
授权
摘要

本实用新型提供了一种检测装置,包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构,第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面,第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面,第一边缘和第二边缘为待测物体上相对的且与输送机构的输送方向垂直的两条边缘,每组检测机构均包括检测相机、表面照射光源、边缘照射光源和反射机构,其中,对于每组检测机构:反射机构对表面照射光源、边缘照射光源发出的光线进行至少一次反射,以使得待测物体的被测表面反射及被测边缘反射的光均能对应的检测相机探测到。输送过程中,本实用新型无须对待测物体进行旋转即能实现对待测物体的垂直于输送机构的输送方向的两条边缘以及待测物体的上下表面的检测,从而提升了检测效率、降低了检测成本。

基本信息
专利标题 :
一种检测装置和硅片分选设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921165443.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-24
授权号 :
CN211086117U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
李文王美洪瑞刘顺李昶徐飞李泽通马红伟
申请人 :
无锡奥特维科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新区珠江路25号
代理机构 :
无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙际德
优先权 :
CN201921165443.0
主分类号 :
G01N21/86
IPC分类号 :
G01N21/86  G01N21/89  G01N21/94  B07C5/34  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/86
测试移动的板、片材料
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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