左右崩边检测装置及硅片检测分选设备
授权
摘要

本实用新型提供一种左右崩边检测装置及硅片检测分选设备,其中,左右崩边检测装置包括:左检测机构、右检测机构以及滑轨;左检测机构与右检测机构设置于滑轨上,且两个检测机构相向设置,任一检测机构包括:检测相机、点激光、光源以及调节组件;光源能够相对第一固定板进行调节;点激光和检测相机能够分别相对第二固定板进行调节;调节组件包括:固定座和调节件。本实用新型通过左检测机构、右检测机构对输送的硅片进行崩边检测,有利于分选出不符合要求的硅片,提高了硅片的出厂良率。同时,两个检测机构能够沿所在滑轨进行位置调节,且各检测机构中的检测相机、点激光、光源也能够独立调节,有利于实际运行过程中的调试,提高了检测的效率。

基本信息
专利标题 :
左右崩边检测装置及硅片检测分选设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121007016.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-05-12
授权号 :
CN216323446U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
孙靖曹葵康顾烨孙俊苏傲钱春辉胡辉来程璧张体瑞温延培
申请人 :
苏州天准科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号
代理机构 :
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 :
马振华
优先权 :
CN202121007016.7
主分类号 :
B07C5/34
IPC分类号 :
B07C5/34  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
B07C5/34
根据其他特殊性质来分选
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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