一种窄线宽准分子激光系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种窄线宽准分子激光系统，该系统包括输出耦合镜和激光腔，还包括：柔性变焦模块，准分子激光束在激光腔内受到激励，经所述柔性变焦模块整形后形成非平行射出的第一光束；扩束模块，对所述第一光束进行扩束，以形成第二光束；与所述扩束模块组成littrow结构的光栅，对所述第二光束进行衍射，以形成与所述第二光束反向重合的衍射光束；其中，所述衍射光束依次经过扩束模块、柔性变焦模块、激光腔和输出耦合镜后输出。该系统结构简单、控制有效，输出激光的线宽值连续可调。
基本信息
专利标题 ：
一种窄线宽准分子激光系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920780419.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-28
授权号 ：
CN209860340U
授权日 ：
2019-12-27
发明人 ：
袁志军周军杨军红江锐张海波沙鹏飞韩晓泉陈刚
申请人 ：
北京科益虹源光电技术有限公司;南京中科神光科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
代理机构 ：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹卫良
优先权 ：
CN201920780419.1
主分类号 ：
H01S3/00
IPC分类号 ：
H01S3/00 H01S3/10 G02B27/09
法律状态
2019-12-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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