一种真空加热装置及准分子激光加工系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空加热装置，包括腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体(2)，所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时用于对其内进行抽真空的接头(3)，所述的腔体(1)内设置有铁柱(4)，所述的铁柱(4)外套设有螺旋状的铜制线圈(5)，所述的铜制线圈(5)的两端分别与外部的直流高频电源连接，所述的铁柱(4)上设有用于放置工件(100)的放置位(6)，所述的盖体(2)上设有能供准分子激光穿透的镜片(7)。本实用新型还公开一种采用前述真空加热装置的准分子激光加工系统。本实用新型真空加热装置及准分子激光加工系统结构简单，不会损坏元器件且安全性好。
基本信息
专利标题 ：
一种真空加热装置及准分子激光加工系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123007411.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
CN216531838U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
朱能伟方晓东游利兵马跃刘弘禹
申请人 ：
深圳技术大学
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号
代理机构 ：
中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡犇
优先权 ：
CN202123007411.8
主分类号 ：
H05B6/36
IPC分类号 ：
H05B6/36 B23K26/12 B23K26/064 B23K26/70
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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