防溅射装置及开方系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种防溅射装置及开方系统，涉及单晶硅和多晶硅的开方设备领域，避免硅粉水浆四处飞溅。本实用新型的主要技术方案为：一种防溅射装置，包括：切割部、固定部、包裹部和移动部；固定部固定于底座，用于固定硅棒；包裹部包括壳体和第一喷水管，壳体套接于硅棒，壳体设有多组通孔，每组通孔均包括第一通孔和第二通孔，切割部分别穿过第一通孔和第二通孔，用于切割硅棒，第一喷水管设置于壳体内，用于向硅棒的切割位置喷水；移动部连接于切割部和壳体，用于带动切割部和壳体沿硅棒轴向方向往复运动。
基本信息
专利标题 ：
防溅射装置及开方系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920881321.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-13
授权号 ：
CN210389719U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
杨东兵
申请人 ：
新疆晶科能源有限公司
申请人地址 ：
新疆维吾尔自治区伊犁哈萨克自治州新源县北工业园区A区
代理机构 ：
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孟阿妮
优先权 ：
CN201920881321.5
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B28D7/02 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
