硅晶棒料晶线确定方法、开方方法及开方设备
授权
摘要
本发明涉及硬脆棒料切割技术领域,尤其涉及硅晶棒料晶线确定方法、开方方法及开方设备,其中硅晶棒料晶线确定方法中运用设置有回转顶夹机构的装夹机构,回转顶夹机构通过对硅晶棒料两端面的顶紧进行硅晶棒料的夹持,在回转顶夹机构的周围设置有多个传感器,传感器可对端面进行摄像,通过各个传感器拍摄的局部影像合成获得端面外截面圆的完整影像,进一步的识别出晶线坐标,并且通过坐标转换找到实际切割中硅晶棒料上的晶线位置。本方案装夹机构的设置能够帮助快速地检测获取硅晶棒料的晶线位置,提供一种能够精确查找单晶硅棒晶线的切割方法,简化了硅晶棒料开方地加工工艺,并且能够有效提高硅晶棒料的开方质量。
基本信息
专利标题 :
硅晶棒料晶线确定方法、开方方法及开方设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113414891A
申请号 :
CN202110635907.5
公开(公告)日 :
2021-09-21
申请日 :
2021-06-08
授权号 :
CN113414891B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
范舒彬杨长友林光展李海威李波林冬
申请人 :
福州天瑞线锯科技有限公司
申请人地址 :
福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号
代理机构 :
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄以琳
优先权 :
CN202110635907.5
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04 B28D7/04 B28D7/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2022-04-05 :
授权
2021-10-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/04
申请日 : 20210608
申请日 : 20210608
2021-09-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN113414891A.PDF
PDF下载