一种TCO导电膜镀膜阴极组件
授权
摘要
本实用新型涉及TCO导电膜镀膜技术领域，目的是提供一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其包括阴极模块和匀气装置。阴极模块为单体阴极或者阴极组，阴极组包括至少两个阴极结构，且至少两个阴极结构以孪生排列的方式设置于同一侧位置。所述匀气装置设置于所述阴极模块的两侧，且被设置用于提供差异化等离子体环境，所述阴极模块的两侧分别为高氧等离子体区和低氧等离子体区。该结构能够通过在阴极模块两侧分别设置高氧等离子体区和低氧等离子体区以实现功能差异化镀膜，优化非晶硅薄膜和TCO界面接触特性，提高太阳电池的光电转化效率，该结构设计合理，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种TCO导电膜镀膜阴极组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920883111.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-13
授权号 ：
CN210314467U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
石建华孟凡英谢毅刘正新
申请人 ：
中威新能源（成都）有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
代理机构 ：
成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何悦
优先权 ：
CN201920883111.X
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/54 C23C14/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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