一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置，包括陶瓷盘正面刷洗机构、陶瓷盘侧面刷洗机构、陶瓷盘传输机构和陶瓷盘旋转机构；正面刷洗机构包括毛刷安装座、毛刷和主轴；毛刷安装座的设有毛刷，毛刷安装座的顶部与主轴的底部相连；主轴四周设有滑动轴；滑动轴外设有滑套；滑套设于钢板上，钢板与主轴固定连接；钢板上设有移动气缸；主轴顶部设有安装面板，本实用新型区别于目前只能单一刷洗正面的刷洗机构，本装置实用新型能够解决陶瓷盘侧面脏污的问题。并且不仅毛刷可以转动，陶瓷盘也可以转动，使两者转动方向相反，进一步增强刷洗效果。
基本信息
专利标题 ：
一种用于硅片陶瓷盘分离机的刷洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920913381.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN210788306U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
朱亮卢嘉彬周锋刘文涛钟莉敏刘小琴高红刚郑猛曹建伟
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN201920913381.0
主分类号 ：
B08B1/04
IPC分类号 ：
B08B1/04 B08B1/00 B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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