一种温度补偿衰减器溅射的夹具
授权
摘要
一种温度补偿衰减器溅射的夹具，包括第一部件和与第一部件可拆卸连接的第二部件，第一部件上设置有长条形的第一溅射孔，第二部件上设置有与第一溅射孔相对的第二溅射孔，第一溅射孔的孔壁设置有沿其长度方向延伸的第一缓冲条，第二溅射孔的孔壁设置有沿其长度方向延伸与第一缓冲条相对的第二缓冲条，第一部件与第二部件连接时，第一部件顶面与第二部件底面相接触，温度补偿衰减器夹紧在第一缓冲条与第二缓冲条之间，通过第一部件与第二部件的配合，保证多个温度补偿衰减器摆放的稳定性，提高溅射的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种温度补偿衰减器溅射的夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920975762.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-26
授权号 ：
CN210189583U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
张宇轩倪晖潘甲东
申请人 ：
福建毫米电子有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市鲤城区常泰街道泰新街58号
代理机构 ：
泉州君典专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
傅家强
优先权 ：
CN201920975762.1
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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