一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置，温补衰减器具有三个引出端，包括可设置在溅射机内的挂架、间隔设置在挂架上的多个固定机构和分别可拆卸地设置在各固定机构上的夹具，温补衰减器设置在夹具内，夹具上设置有三个分别对应于三个引出端的溅射孔，通过调整夹具固定在固定机构上的角度，以使各引出端均被充分溅射。本实用新型能够使温补衰减器各引出端溅射充分且提高产量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于温补衰减器溅射机的夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020502710.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-08
授权号 ：
CN212128291U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
林泽清陈培阳潘甲东
申请人 ：
福建毫米电子有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市鲤城区常泰街道泰新街58号
代理机构 ：
泉州君典专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宋艳梅
优先权 ：
CN202020502710.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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