一种半导体设备台板顶部装置部件洗净喷砂保护治具，包括保护机构和固定机构，所述保护机构与固定机构螺纹连接；所述保护机构包括保护面和螺纹孔，所述保护面一侧面的中心处开设有螺纹孔，所述固定机构包括挡板、螺纹柱和手柄。该半导体设备台板顶部装置部件洗净喷砂保护治具，相对于手工胶带保护能够大幅度提高喷砂范围的精度，避免了喷砂区域不齐整的问题，提高了喷砂的质量，而且可以重复利用，达到了节约成本的目的，代替手工胶带遮蔽部件的非喷砂区域，对于被保护的不锈钢部件表面不会留下残胶，污垢等副产物，从而省略了后期清理残胶和污垢等副产物的步骤，达到节省人力的目的。