一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件洗净喷砂保护治具
授权
摘要
一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件洗净喷砂保护治具，属于洗净喷砂保护治具领域。包括主体、搬运把手、沟槽、底座孔、定位槽A、定位槽B和密封硅胶条；所述主体上设置圆柱形的定位槽B，定位槽B下方设置圆柱形的定位槽A，定位槽A底面设置环状的沟槽和底座孔，沟槽环绕底座孔；密封硅胶条为环状结构并设置在定位槽B内；主体的侧面上设置有搬运把手。本实用新型的结构契合部品，对部品进行洗净喷砂作业可以保证作业精度，并且不会使部品表面产生残胶污垢等，本实用新型可以重复利用降低生产成本，使部品不良率大大降低。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件洗净喷砂保护治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920540834.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN209774391U
授权日 ：
2019-12-13
发明人 ：
李泓波朱光宇陈智慧张正伟贺贤汉
申请人 ：
富乐德科技发展（大连）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市保税区海明路179-8号（环普国际产业园B04栋）
代理机构 ：
大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
盖小静
优先权 ：
CN201920540834.X
主分类号 ：
B24C9/00
IPC分类号 ：
B24C9/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24C
磨料或微粒材料的喷射
B24C9/00
磨料喷射机或装置的附件，如工作室，用过的磨料的处理装置
法律状态
2019-12-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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