一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具
授权
摘要
一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具，属于百级吹扫保护治具领域。包括支架、固定盘和固定挂钩；所述支架上端两侧设有横梁，固定挂钩一侧弯折形成用于挂在横梁上的凹槽，固定挂钩另一侧设有用于连接固定盘的孔A，固定盘包括主体和主体两侧伸出的连接台，连接台上设置有用于连接固定挂钩的孔B，主体上设置固定孔，主体上还设置有搬运把手。本实用新型的有益效果是在使用时部品底部通过螺栓固定在固定盘上，固定盘通过固定挂钩使部品以倒置的状态挂在支架上，便于对部品进行全面的吹扫，并且在吹扫时部品不会掉落。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备蚀刻装置沉积喷头部件百级吹扫保护治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920540844.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN209829751U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
李泓波朱光宇陈智慧张正伟贺贤汉
申请人 ：
富乐德科技发展（大连）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市保税区海明路179-8号（环普国际产业园B04栋）
代理机构 ：
大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
盖小静
优先权 ：
CN201920540844.3
主分类号 ：
B08B5/02
IPC分类号 ：
B08B5/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁，如吹清凹处
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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