一种蚀刻机用进液部件及蚀刻机
授权
摘要
本实用新型提供了一种蚀刻机用进液部件，用于将蚀刻液输入蚀刻机中，包括安装在所述蚀刻机中的蚀刻液储存缸和用于将蚀刻液输入所述蚀刻液储存缸的输入装置，其特征在于，还包括进液结构，所述输入装置具有射出口，所述射出口与所述进液结构连通，并通过所述进液结构将蚀刻液输入所述蚀刻液储存缸中；所述进液结构包括主管和支管，所述主管的一端与所述射出口连通，所述主管的另一端与所述支管连通；所述支管位于所述蚀刻液储存缸中，所述支管围合形成多个环形管路结构，所述支管上形成有供蚀刻液流出的通孔。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻机用进液部件及蚀刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123253559.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216585223U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
郑健成关家彬陈恒辉潘然楷
申请人 ：
广东德同环保科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区九江镇龙高公路敦上大道2号4楼401(住所申报)
代理机构 ：
广东普润知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭海民
优先权 ：
CN202123253559.X
主分类号 ：
C23F1/08
IPC分类号 ：
C23F1/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置，如照相印刷制版装置
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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