一种半导体设备台板顶部装置部件洗净超高压保护治具，包括顶部机构和底部保护，所述顶部机构通过使用手拧螺栓与底部机构固定连接；所述顶部机构包括保护面、倒圆角和第一螺纹孔，所述保护面的一侧面开设有倒圆角，所述倒圆角的中心处开设有第一螺纹孔。该半导体设备台板顶部装置部件洗净超高压保护治具，可以重复利用，因是不锈钢治具，表面不会留下残胶，污垢等副产物，具有使用方便，精度高，节省人力及物料成本的特点，半导体设备台板顶部装置部件洗净通过使用该超高压保护治具，有效的保护了台板顶部的氧化层，防止了台板顶部氧化层在洗净过程中受到损坏，导致成部品的报废，降低了台板顶部洗净过程的风险。