一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具，包括保护面板，所述保护面板采用不锈钢材质，所述保护面板的圆心处开设有螺母孔，所述螺母孔的内部螺纹连接有固定螺栓，所述固定螺栓的一端固定连接有紧固旋钮。该半导体设备PLATEN TOP装置部件洗净溶射保护治具，通过设置有保护面板与固定螺栓，且保护面板采用不锈钢材质，能够使保护面板代替人工用耐热胶带遮蔽部件的非溶射区域，保护范围定位准确，精度高，而且通过固定螺栓固定部件，可以方便拆卸与安装，同时保护面板采用不锈钢材质，不会留下残胶，只需经过适当的清洗就可以使表面光亮如新，达到使用方便、精度高与可以重复使用的目的。