一种晶棒外形尺寸测量装置

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摘要

本实用新型公开了一种晶棒外形尺寸测量装置，包括晶棒本体、斜度长度检测机构、安装平台和直径测量机构，所述安装平台的顶部固定安装有对称分布的直径测量机构，所述安装平台顶部的中部固定安装有斜度长度检测机构。本实用新型采用对射式测量仪，对单晶硅棒做直线式扫描，进行全区段的直径检测，数据全面，准确，降低工人的劳动强度；采用自动化的方式检测，利用数学算法，可以准确地计算出单晶硅棒的长度和斜度；自动化记录，保证数据不会错误记录和漏记，保证数据的准确可靠；采用自动化的方式进行检测，能够实现全检，大大提高了检测效率；可以实现无人值守，保证操作者不会被粉尘伤害。

基本信息

专利标题：

一种晶棒外形尺寸测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921132769.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-18

授权号：

CN210036639U

授权日：

2020-02-07

发明人：

韩锐周意和

申请人：

杭州海内自动化设备有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区桥南区块高新十三路9号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921132769.3

主分类号：

G01B21/00

IPC分类号：

G01B21/00