一种大尺寸单晶圆棒切割装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种大尺寸单晶圆棒切割装置，切割室内设有“井”字型金刚线，“井”字型金刚线设置在单晶圆棒一端并与单晶圆棒的端面平行；切割室内壁上设有边皮夹紧装置，边皮夹紧装置包括四个，四个边皮夹紧装置分别对应单晶圆棒切割得到的四个边皮；切割时在单晶圆棒一端通过“井”字型金刚线沿单晶圆棒轴线方向对单晶圆棒进行切割。本实用新型的有益效果是：采用“井”字型金刚线从圆棒端面下刀，金刚线和单晶接触面积较小，线弓也会较小，能够提升硅棒的加工效率；采用分段式切割方式，配合边皮夹具固定切下的边皮，能够有效的降低硅棒崩损的概率，并能够有效提高单晶硅棒的表面质量，提高产品合格率。
基本信息
专利标题 ：
一种大尺寸单晶圆棒切割装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921209042.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-30
授权号 ：
CN210999502U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
匡文军史彦龙马洋高润飞谷守伟徐强
申请人 ：
内蒙古中环光伏材料有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN201921209042.0
主分类号 ：
B28D5/00
IPC分类号 ：
B28D5/00 B28D5/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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