一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置

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摘要

本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置，包括封闭的外壳，外壳上部具有压力导入接口，外壳内具有弹性膜片，弹性膜片与外壳底部之间为测量区，该测量区内悬空固定有反射镜，反射镜的镜面上安装有分束镜，测量区内的外壳内壁上安装有激光器，激光器朝向分束镜，激光器底部设置有摄像头。与现有技术相比，本实用新型的一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置，通过干涉条纹的位移反演弹性膜片的位移，从而计算出气体的压力，具有精度高，灵敏度高，结构简单，被测气体和测量装置隔离的优点。

基本信息

专利标题：

一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921220015.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-30

授权号：

CN210221371U

授权日：

2020-03-31

发明人：

唐慧强唐嘉鹏徐灵杰徐刚

申请人：

南京信息工程大学

申请人地址：

江苏省南京市江北新区宁六路219号

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

张惠忠

优先权：

CN201921220015.3

主分类号：

G01L11/02

IPC分类号：

G01L11/02