一种透射波前检测设备
授权
摘要
一种透射波前检测设备，包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。本检测设备能够用于提高微透镜测量的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种透射波前检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921263808.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-06
授权号 ：
CN210005216U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
程雪岷刘灵成郝群林宇仁
申请人 ：
清华大学深圳研究生院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
代理机构 ：
深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人 ：
江耀纯
优先权 ：
CN201921263808.3
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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