一种透射旋转对称非球面检测设备
授权
摘要
一种透射旋转对称非球面检测设备，该设备包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，用于驱动聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，用于驱动待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，用于驱动扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器，以及旋转位移器，对放置在待测镜片托盘的镜片限位孔中的待测镜片进行旋转。本检测设备能够用于快速地对镜片加工偏心等误差的高精度检测。
基本信息
专利标题 ：
一种透射旋转对称非球面检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921263819.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-06
授权号 ：
CN209978841U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
程雪岷刘灵成郝群林宇仁
申请人 ：
清华大学深圳研究生院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
代理机构 ：
深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王震宇
优先权 ：
CN201921263819.1
主分类号 ：
G01B11/27
IPC分类号 ：
G01B11/27 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/27
••用于检测轴线准直
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
