一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统

授权

摘要

本实用新型提供一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统，版架上增设至少一对顶针，每对所述顶针中，一个顶针与所述版架绝缘，另一个顶针与所述版架导通连接，每对所述顶针用于与放置在所述版架上的掩模版的金属层接触，并利用电阻检测器与所述至少一对顶针通过导线连接，本专利申请便于及时检测掩模版架与掩模版之间的接触电阻，如果接触电阻过大，则需马上重装掩模版，直到接触电阻小于预设值，从而有效避免产品因错位而报废、提高产品成品率，本结构结构简单、成本低、操作方便，有效避免因装版不达标而发生产品报废情况的出现。

基本信息

专利标题：

一种掩模版架、掩模版架与掩模版间接触电阻的检测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921275296.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-07

授权号：

CN210864316U

授权日：

2020-06-26

发明人：

黄宏君

申请人：

无锡迪思微电子有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6

代理机构：

无锡市朗高知识产权代理有限公司

代理人：

贾传美

优先权：

CN201921275296.2

主分类号：

G03F1/64

IPC分类号：

G03F1/64 G03F7/20 G01R27/02