本实用新型公开了电池生产设备技术领域的一种PERC电池生产用硅片背面钝化层激光开槽装置,活动座延伸至箱体内腔部分外壁的左右两侧均设置有固定环，固定环内卡接有上抽气管，箱体左侧外壁设置有安装板，安装板顶部设置有气泵，气泵前后两端均设置有气管，上抽气管的顶部延伸至箱体外壁与后侧气管连接，在开槽时，气泵通过后侧气管和上抽气管将开槽产生的快速烟气抽出，然后通过前侧气管送入净化设备进行净化后排放，降低了开槽时对环境的污染，且此时的下抽气管抽出放置槽内腔的空气，可使放置槽产生吸力提高硅片的固定效果，而在进行开孔时，后侧气管提高与下抽气管和凸条配合会将开孔时进入放置槽的烟气抽出，进一步提高烟气的回收净化效果。