硅片生产系统
公开
摘要
本申请实施例提供一种硅片生产系统，包括：切片机，用于将硅棒切割成硅片，并将硅片及晶托组件放置工装篮内；运输小车，用于将工装篮运送至脱胶装置；脱胶装置，内部设有用于容纳运输小车的停留空间；所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理；插洗装置，用于将经过分片处理后的硅片进行插片。本申请实施例提供的硅片生产系统能实现对硅片进行自动脱胶、擦胶和分片作业，提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
硅片生产系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114559571A
申请号 ：
CN202210387322.0
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-04-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁海军邢旭兰勇刚
申请人 ：
乐山高测新能源科技有限公司
申请人地址 ：
四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号101幢1-2层
代理机构 ：
北京科慧致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
宋珊珊
优先权 ：
CN202210387322.0
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B28D7/04 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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