一种硅片生产系统
授权
摘要

本发明公开一种硅片生产系统,涉及硅片生产技术领域,以提供一种在硅片生产过程中,自动统计各个工序信息的技术方案。包括:控制平台,与控制平台通信的切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备。切片设备用于向控制平台发送切片物料的切片工序信息;脱胶设备用于向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息,插片清洗设备用于向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息,分选设备用于向控制平台发送硅片的分选工序信息;控制平台还用于根据切片设备的加工需求信息确定切片原料信息,将切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息和分选工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。

基本信息
专利标题 :
一种硅片生产系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112486110A
申请号 :
CN202011257429.0
公开(公告)日 :
2021-03-12
申请日 :
2020-11-11
授权号 :
CN112486110B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
齐成天罗向玉李鑫郭永强时辰高永辉
申请人 :
银川隆基光伏科技有限公司
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区宝湖西路552号
代理机构 :
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 :
王胜利
优先权 :
CN202011257429.0
主分类号 :
G05B19/418
IPC分类号 :
G05B19/418  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/418
全面工厂控制,即集中控制许多机器,例如直接或分布数字控制、柔性制造系统、集成制造系统、计算机集成制造
法律状态
2022-05-10 :
授权
2021-03-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05B 19/418
申请日 : 20201111
2021-03-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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