一种硅片的清洗槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片的清洗槽，涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片的清洗槽，包括槽体，所述槽体的顶部固定安装有超声波发生器，所述槽体的右侧固定连接有排液口，所述排液口的顶部固定安装有控制阀，所述槽体的内部固定连接有挡板，所述挡板的顶部放置有硅片放置板，所述硅片放置板的顶部设置有卡槽，所述硅片放置板顶部的右侧固定连接有侧板。该硅片的清洗槽，通过设置高压喷头使清洗液形成高压水流对硅片进行冲洗，能够有效地取出硅片表面的附着物，当冲洗的清洗漫过硅片的顶部时，通过超声波发生器产生的超声波使清洗液震动，对硅片进行二次的清洗，提高了硅片的清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片的清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921315444.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN211071105U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
刘爱军曹丙强庄艳歆周浪
申请人 ：
江苏金晖光伏有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号
代理机构 ：
扬州润中专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张琳
优先权 ：
CN201921315444.9
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/02 B08B3/08 B08B3/04 B08B13/00 F26B21/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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