晶圆卡盘的清洁装置、光刻机台
授权
摘要
本实用新型涉及一种晶圆卡盘的清洁装置、一种光刻机台。所述晶圆卡盘的清洁装置包括：密闭腔室，用于放置待清洁的晶圆卡盘；气流输入单元，用于向所述密闭腔室内通入吹扫气体；位于所述密闭腔室内，设置于所述气流输入单元与晶圆卡盘放置位之间的气流调整单元，用于调整朝向晶圆卡盘表面的气流吹扫角度。所述晶圆卡盘的清洁装置能够预防晶圆卡盘被污染。
基本信息
专利标题 ：
晶圆卡盘的清洁装置、光刻机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921380498.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-23
授权号 ：
CN210586185U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
梁学玉
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201921380498.3
主分类号 ：
B08B5/02
IPC分类号 ：
B08B5/02 G03F7/20
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁，如吹清凹处
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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