一种减反射膜结构及PERC电池
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摘要
本实用新型公开了一种减反射膜结构及PERC电池,能够进一步降低正面钝化介质膜层的反射率,同时进一步提升对表面的钝化效果。一种减反射膜结构,包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层;所述第一减反射层用于形成在硅基体上,所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF2膜层或由AlOx膜层和MgF2膜层层叠形成的叠层结构;所述第二减反射层为SiNx膜层、SiC膜层或TiOx膜层,或为由选自SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层中的至少两种层叠形成的叠层结构;所述第三减反射层为SiOxCy膜层或为由SiOxCy膜层和SiOxNy膜层层叠形成的叠层结构。
基本信息
专利标题 :
一种减反射膜结构及PERC电池
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921417717.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-29
授权号 :
CN210692547U
授权日 :
2020-06-05
发明人 :
魏青竹倪志春苗凤秀连维飞李怡洁
申请人 :
苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
李萍
优先权 :
CN201921417717.0
主分类号 :
H01L31/0216
IPC分类号 :
H01L31/0216 H01L31/068 H01L31/18
法律状态
2020-06-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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