本实用新型公开了一种防漂篮硅片反应槽，其包括主槽、副槽、温度检测件和制冷件，主槽被配置为盛装药液，副槽与主槽相连，药液能够在主槽和副槽之间循环，温度检测件设在主槽内，温度检测件被配置为检测主槽内的药液的温度，制冷件设在副槽内，制冷件被配置为降低副槽内药液的温度，制冷件被配置为根据温度检测件的测量结果调整其工作状态。本实用新型的防漂篮硅片反应槽，由于设有与主槽连通的副槽，主槽内设有温度检测件，副槽内设有与温度检测件电连接的制冷件，较好地控制了主槽内的药液温度，使得药液与硅片的反应能够稳定的进行，控制了药液与硅片反应时气泡的生成速率，较好地解决硅片制绒过程中出现漂篮现象。