酸性蚀刻液循环再生系统中固体氧化剂的自动添加装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型涉及一种酸性蚀刻液循环再生系统中固体氧化剂的自动添加装置，包括：中转漏斗(11)、第一管道电磁阀(13)、高压气管、添加管道、第二管道电磁阀(20)、震动马达(22)；所述中转漏斗(11)与添加管道(15)连通；在添加管道(15)的上端设置有第一管道电磁阀(13)；在添加管道(15)的下端设置有第二管道电磁阀(20)；高压气管(14)的一端与添加管道(15)连通，且设置在第一管道电磁阀(13)、第二管道电磁阀(20)之间；所述高压气管(14)的另一端与气泵连接；采用本实用新型的一种酸性蚀刻液循环再生系统中固体氧化剂的自动添加装置，能够较好的维持蚀刻生产线的溶液平衡。

基本信息

专利标题：

酸性蚀刻液循环再生系统中固体氧化剂的自动添加装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921512563.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-11

授权号：

CN210596263U

授权日：

2020-05-22

发明人：

罗欢

申请人：

上海八菱环保科技有限公司

申请人地址：

上海市嘉定区外冈镇恒乐路85号1幢2层B区

代理机构：

北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

李海燕

优先权：

CN201921512563.3

主分类号：

C23F1/46

IPC分类号：

C23F1/46 C23F1/18

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23F

非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理

C23F1/00

金属材料的化学法蚀刻

C23F1/46

蚀刻组合物的再生

法律状态

2022-01-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C23F 1/46
登记生效日 : 20211231
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海八菱环保科技有限公司
变更后权利人 : 广东鑫菱环境科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201806 上海市嘉定区外冈镇恒乐路85号1幢2层B区
变更后权利人 : 广东省深圳市福田区福田街道海滨社区滨河大道6027号英协大厦5B

2020-05-22 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN210596263U.PDF

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