一种等离子增强旋转炉装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种等离子增强旋转炉装置,包括操作安装台以及分布在操作安装台上的支撑架,支撑架顶端水平安装有旋转炉管,旋转炉管中间安装有蒸发舟,旋转炉管周侧一端安装有射频线圈,操作安装台中间安装有与射频线圈相连的射频电源。本实用新型特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆,对于粉体CVD包覆沉积有着更佳的性能优势,结构简单,操作方便,具有良好的实用与推广价值。

基本信息
专利标题 :
一种等离子增强旋转炉装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921533393.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-16
授权号 :
CN210569970U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
邾根祥朱沫浥方辉李东明
申请人 :
合肥科晶材料技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区柏堰科技园团山路8号
代理机构 :
合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王芸
优先权 :
CN201921533393.7
主分类号 :
F27B17/02
IPC分类号 :
F27B17/02  F27D19/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
F27B17/02
专门供实验室用的
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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