一种LPCVD双层炉管结构
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种LPCVD双层炉管结构,涉及多晶硅制造领域,包括有双层炉管,所述双层炉管包括有石英内管、石英外管、炉门、内管法兰、外管法兰、管内支撑装置、密封圈,石英内管作为工艺管,石英外管作为真空密封管,管内支撑装置包括有支撑块,所述支撑块设置在石英内管与石英外管之间,石英外管通过外管法兰与加热炉腔固定在一起,内管法兰、外管法兰均加工有密封垫和密封圈凹槽,两个法兰衔接处通过密封圈进行密封,炉门前端为实心表面平整圆形构造,尾端采用开孔,尾端通过内管法兰、外管法兰共同固定。本实用新型杜绝了多晶硅在外管内侧沉积导致的外观破损,提升了设备工艺稳定性,提升了产能,减少了设备维护成本。

基本信息
专利标题 :
一种LPCVD双层炉管结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921614657.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-26
授权号 :
CN211595791U
授权日 :
2020-09-29
发明人 :
邵玉林陶俊张三洋
申请人 :
无锡琨圣科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山经济技术开发区万全路30号
代理机构 :
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
汤东凤
优先权 :
CN201921614657.1
主分类号 :
C23C16/44
IPC分类号 :
C23C16/44  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-04-16 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 16/44
变更事项 : 专利权人
变更前 : 无锡琨圣科技有限公司
变更后 : 无锡琨圣智能装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214000 江苏省无锡市锡山经济技术开发区万全路30号
变更后 : 214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路106号
2020-09-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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