本实用新型涉及加热炉附属装置技术领域，且公开了一种硅片加热炉反应液的冷却系统箱，包括箱体内部控制器，所述箱体内部控制器正面的中部固定连接有调控开关，所述箱体内部控制器正面的上部固定连接有显示屏幕。该硅片加热炉反应液的冷却系统箱，通过水泵将其水分通入湿棉的内部，且在湿棉内部设有棉球，使得其在电机使用的过程中，其带动风叶转动，使其通过带动湿棉出的空气流入其上部，且在湿棉处为湿棉，使其内部空气流动的过程中带动湿棉处的水分，通过气化现象使得其起到的降温的效果更强，同时相比较与水冷装置，将冷却箱体底部的水冷改为风冷，风冷能够更为长时间的保持反应液的低温，起到更好的效果。